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光学薄膜淀积的计算机仿真

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介绍了利用计算机对光学薄膜淀积过程进行仿真,编写了基于Matlab的计算机仿真程序.对采用反射率极值法监控的镀膜系统的薄膜淀积结果以及薄膜淀积过程中监控片透射率的实时变化进行了模拟,根据模拟结果所计算的薄膜的光学特性曲线与成膜的实测结果一致.

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来源
《第十一届全国薄膜学术交流会》|2001年|15-18|共4页
会议地点上海
作者
杨明红; 刘劲松; 陈清明; 张波;
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作者单位

中国光学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类薄膜的性质;计算机仿真;
关键词
薄膜淀积; 极值监控法; 计算机模拟; 光学薄膜; 计算机仿真;

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