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GaN材料用蓝宝石单晶及衬底片的研究

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蓝宝石单晶是一种用途很广的晶体材料,还是一种很好的GaN蓝光光电器件的衬底材料,本文介绍了单晶生长制备工艺及衬底片的加工工艺.

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来源
《第十二届全国半导体集成电路硅材料学术会议》|2001年|17-20|共4页
会议地点昆明
作者
步云英; 谢礼丽; 张玲; 孙德海; 于秉华; 王皎瑜;
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作者单位

中国电子学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类化合物半导体;
关键词
GaN材料; 蓝宝石单晶; 单晶生长; 衬底片; 制备工艺;

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