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内部气氛分析在DPA工作中的重要作用

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本文介绍内部水汽含量分析在DPA工作中的重要作用,以及目前国内水汽含量的现状和存在的普遍问题,与封装工艺的相关性,进行工艺改进的措施.

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来源
《第九届全国可靠性物理学术讨论会》|2001年|32-34|共3页
会议地点延安
作者
吴文章;
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作者单位

中国电子学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类测试、调整及设备;结构;
关键词
水汽含量; 工艺改进; 电子元器件; 破坏性物理分析;

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