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单玉生; 王乃彦; 马景龙; 陶业争; 汤秀章; 马维义; 王孝军; 龚堃; 杨大为; 姜兴东; 冯奇; 高怀林;
中国光学学会;
束靶作用; 超热电子能谱; 准分子激光; 氟化氪;
机译:高功率KrF准分子激光系统的种子源设计
机译:高功率离子束和电子束处理下铁靶表面层位错密度和显微硬度变化的数值研究
机译:高功率电子束与铝靶的相互作用:测量和模拟
机译:KrF准分子激光与金属钛靶相互作用产生的激光诱导等离子体的早期实验和理论研究
机译:长传输线脉冲形成网络驱动的高功率氙气准分子激光振荡器的动力学过程的理论研究。
机译:用KrF准分子激光辐照在掺杂的聚甲基丙烯酸甲酯薄膜上制备周期性表面结构
机译:用于RIa的液态锂靶的高功率射束靶测试。
机译:用于KrF准分子激光系统的硅基电子束透射窗的开发
机译:适于作为酸产生剂的盐,适用于ARF准分子激光光刻,KRF准分子激光光刻,EUV,乳化光刻和电子束光刻的光致抗蚀剂组合物,以及光致抗蚀剂的制造方法
机译:在从G线,I线,KrF准分子激光和电子束中选择的至少两种曝光光源中进行曝光的过程中使用的负阻组合物,以及抗蚀剂图案形成方法
机译:从G线,I线,KrF准分子激光和电子束中选择的至少两种曝光光源在曝光过程中使用的正性抗蚀剂组合物和抗蚀剂图案形成方法
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