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大容器氦质谱检漏技术的应用

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本文讨论运用氦质谱检漏技术对高真空大容器进行检漏时,真空系统中检漏仪连接方式对检漏灵敏度的影响,介绍了减小系统检漏灵敏度影响因素的方法.

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来源
《中国真空学会质谱与检漏专委会第十一届年会.中国计量测试学会真空校准专委会市第六届年会》|2002年|62-62|共1页
会议地点桂林
作者
蒲洁; 徐淑珍; 张华全;
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作者单位

中国真空学会;

中国计量测试学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类真空检漏与仪器;粒子束聚变加速器;
关键词
真空检漏; 氦质谱检漏; 粒子加速器; 真空大容器;

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