气溶胶MOCVD制备固体电解质薄膜与表征

摘要

采用气溶胶辅助的金属有机物化学气相沉积方法,以金属β-二酮鏊合物作为前驱物,在NiO基阳极衬底上制备了Gd<,2>O<,3>掺杂的CeO<,2>(GDC)和Y<,2>O<,3>稳定的ZrO<,2>(YSZ)电解质薄膜.应用差热方法分析了前驱物的挥发性和分解性能,对薄膜的相结构、形貌、组成和离子电导率等性质进行了表征,分析了沉积温度对薄膜性能的影响.