扫描透视X射线显微镜的成像分辨率

摘要

软X射线扫描透射显微镜(STXM)是近年来发展起来的一种新型显微技术,该技术能够获得比普通光学显微镜更高的分辨率,而相对于电子显微镜又具有不用重金属染色、可观测含水样品等优点.讨论了合肥国家同步辐射实验室(NSRL)在建中的STXM的光路设计,从基尔霍夫衍射定律出发对STXM的成像分辨率进行了分析.推导了在成像系统离焦的情况下系统调制传递函数、点扩散函数、边缘扩散函数的变化,并进行了数值模拟.通过数值计算,得到了分辨率随离焦量的变化趋势曲线,结合光强分布曲线可得到离焦量最好应小于3μm的结论,此数据对STXM的准直定位精度的确定具有指导意义.