128×1 InSb焦平面探测器的研制

摘要

研制了一种由光伏线列InSb芯片和Si-CMOS硅处理器混成的中波128元线列焦平面红外探测器.探测器的光电信号分为奇偶两路输出.焦平面探测器组件内装有滤光片和光栏,工作波段为3~5μm.采用J-T效应制冷器,工作温度为77K.128元线列探测器光敏面为50μm×50μm,探测率D<,bb><'*1.2×10<'10>cm·Hz<'1/2>·W<'-1>,其响应非均匀性≤±10﹪,读出频率大于2MHz.所研制的128元线列焦平面探测器达到了一定的工程化水平,可以小批量生产供用户使用.