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InSb的氧化膜研究

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摘要

在诸多影响红外探测器性能稳定性的因素中,InSb表面的自然氧化是其中的一种,本文通过XPS和SAMAuger对InSb表面的氧化物含量与接触空气时间的关系以及各元素氧化物价态作了初步的分析.

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来源
《2003年全国光电技术学术交流会暨第十六届全国红外科学技术交流会》|2003年|38-41|共4页
会议地点武汉
作者
董硕; 雷静;
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作者单位

中国宇航学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类红外探测、红外探测器;制造工艺及设备;
关键词
InSb; 氧化膜; 探测器; 红外探测器; 价态;

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