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MEMS器件中微气泡控制生长研究进展

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半导体技术和微加工工艺的进步,促进了MEMS微流体器件的发展.本文研究MEMS器件中微热气泡的生长,可揭示微小空间尺度相变机理.本文综述了国内外微热气泡生长理论模型和微热气泡生长实验的研究进展,分析研究现状特点和存在的问题.设计并加工了微通道内微气泡控制生长实验器件,讨论微气泡控制生长实验方案,有助于深入了解微尺度相变传热传质特性,可为新型MEMS微流体相变驱动器件的开发和设计提供参考.

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来源
《中国工程热物理学会第十一届年会》|2005年|319-327|共9页
会议地点北京
作者
董涛; 杨朝初; 张玉龙;
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作者单位

中国工程热物理学;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类传热学;
关键词
微热气泡; 成核; 相变; 传热; 微流体器件;

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