一种用于测量低温等离子体密度的微型电荷收集器

摘要

本文借助通用的PIC模拟程序建立了粒子模拟模型,分析了电荷收集器结构参数对其收集性能的影响,优化设计了微型电荷收集器,减小了电荷收集器对等离子体源的扰动。