覆膜阴极蒸发成分的分析

摘要

本文利用飞行时间质谱对用于相位一致性覆膜阴极在不同温度,不同时间条件下的蒸发成分进行了测试,并对这些蒸发物的来源进行了分析.这些结果为研制蒸发速率小的覆膜阴极指明方向。