真空中氧化铝陶瓷表面绝缘特性的测量和表征

摘要

建立了95﹪(质量分数,下同)氧化铝陶瓷在真空中的表面耐压能力和表面二次电子发射系数(电子束诱导)的测量方法,测得95瓷表面(Φ25mm×50mm的圆柱形表面)可靠耐压强度约为1.6kV/mm;获得了陶瓷表面二次电子发射(电子束诱导)特性曲线,测得95﹪氧化铝陶瓷的表面二次电子发射系数约为6.5.探讨了制约陶瓷材料表面耐压能力的主要因素,提出性改善95﹪氧化铝陶瓷表面绝缘性能的方向和途径。