CFD技术在洁净室气流组织设计中的应用

摘要

本文运用CFD技术作为辅助工具对一ISO5级洁净室内的气流组织进行设计.我们采用CFD技术对光刻胶研发实验室内的气流组织和微尘污染进行了研究.研究中采用了k-ε模型,并用FLUENT软件进行求解.对多种洁净室的气流组织方案进行了数值模拟,并选择优化方案建造了实验室,对此实验室测试了多组数据并与数值模拟的结果进行比较,表明数值模拟的结果是准确的.说明了CFD技术是洁净室设计的可靠辅助工具。