微光机电系统在先进武器装备中的应用

摘要

随着微光机电系统技术的发展,选用的材料已经从传统的半导体材料向功能结构材料开始转变,相应的制造技术也从半导体工艺向特种加工、超精密加工等先进制造技术发展。由于材料及其制造技术的进步,又使微系统的性能不断提高,其应用领域也不断扩大,在先进武器装备的微型传感器、微光学结构阵列、微小动力装置、微伺服阀等方面得到了广泛应用。