微晶玻璃超光滑表面抛光方法与工艺技术

摘要

超光滑表面在现代工业和国防领域的应用越来越多,但由于其对加工工艺和环境以及设备的要求苛刻,使得超光滑表面的获得还存在较大难度。针对激光陀螺反射镜常用微晶玻璃的加工工艺,本文介绍了一种较为成熟的超光滑表面加工方法——定偏心浸液式抛光,采用这种方法进行多次微晶玻璃超光滑表面的工艺实验,稳定地获得了埃量级的超光滑表面,精度可达平面度0.041mP-V/Φ60mm,表面粗糙度Ra0.32nm。