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表芯摆片粘连故障分析及工艺改进措施

摘要

本文介绍了石英挠性加速度计表芯装配过程中存在的表芯内摆片与力矩器粘连故障,介绍了在表芯气密性检测的方法,改进装配过程中的工艺方法,解决了摆片粘连问题,提高了加速度计的精度及可靠性.

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