MEMS流量传感技术及其最新进展

摘要

介绍MEMS热式质量流量传感技术及其最新进展,从测量原理和应用上与传统热式质量流量测量技术进行了对比。MEMS流量传感技术对流体的测昔不仅仅决定于传统的“热分布”或“金氏定律”,而同时由于传感器自身的微米量级尺度使得热边界层特性对测量产生了决定性的作用,从而减少流场对测量的影响,进而在一定条件下可大大减少对于不同流体的实测要求。MEMS传感器采用大规模集成电路的方式制成,封装方式可多样化,多传感器的集成易于实现,并且一致性好,成本低廉,为有条件地替代传统技术和大规模应用创造了条件。