射流圆孔靶的制备和靶参数测量

摘要

本文主要介绍两种不同的圆孔加工方法，采用精密机械加工的工艺在50μm的铝薄膜上制备直径为60μm的圆孔。由于CH的机械加工性能极差，圆孔不能加工成型，故采用皮秒激光加工工艺在140μm的CH薄膜上加工直径140μm的圆孔。再通过精密装配的方法获得两种不同材料和参数的射流圆孔靶。使用白光干涉仪和小型量测仪等仪器对射流圆孔靶进行相关参数的测量。测量数据表明铝薄膜的圆孔孔径较圆且铝薄膜正反两面大小一致性好。而CH薄膜的圆孔孔径较圆，但薄膜表面上的激光入口和处孔的孔径不完全一致，存在约为6度的锥度。