基于微悬臂梁的压电振动能量采集器的分析与制造

摘要

随着低功耗无线传感器件和微机械电子系统的发展，电池技术的微型化正成为它们进入实用化、产业化的一大障碍。其中一个解决方案是微压电振动能量采集器。首先给出压电式振动能量采集器的工作原理、物理模型和设计原则。用有限元分析软件对理论进行验证，两者吻合较好。采用一种新颖的制造工艺，利用环氧树脂做为中间粘结层的键合工艺将高性能块材PZT与硅片结合，使用1BHF∶2HCL∶4NH4CL∶4H2O刻蚀液对PZT进行刻蚀减薄，制作了基于微悬臂梁的压电振动能量采集器。