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激光聚集方法在纳米计量领域的应用

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本文主要描述激光聚焦方法在纳米计量领域的应用。利用该方法在纳米测量机平台上对各种标准台阶进行测最验证,并对测量过程中对结果造成影响的因素做出不确定度分析,测量结果通过En评估法与国际计量机构(如PTB和NIST)提供的标准值比对后得出所有En比对值均低0.5,从而证实该方法对台阶测量是非常有效的.

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来源
《第十九届全国测控、计量、仪器仪表学术年会》|2009年|190-195|共6页
会议地点桂林
作者
谢初南; 傅云霞; 李源;
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作者单位

中国仪器仪表学会;

中国计量测试学会;

中国电子学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类激光的应用;
关键词
激光聚焦方法; 纳米测昔机; 纳米计量; 不确定度分析;

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