非晶硅/微晶硅薄膜光伏激光刻蚀技术及其发展

摘要

激光刻蚀(划线)工艺是非晶硅、微晶硅等薄膜光伏电池整个制造工艺中具有决定性意义的一道工艺，激光刻蚀的水平直接影响了电池的转换效率，本文主要就TCO透明导电膜、硅层、背电极(ZnO/Al/Ag)等激光刻蚀工艺的先进技术和方法进行对比，并重点介绍了自动化激光刻蚀设备的发展。