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徐晨; 陈磊;
江苏省教育厅;
江苏省学位委员会;
干涉仪; 非旋转对称面形; 测量误差; 装夹应力; Zernike多项式系数;
机译:同时消除倾斜波干涉法中的非旋转对称误差
机译:通过相差参考窗口消除单干涉仪系统中的所有马赛克光栅误差
机译:具有衍射参考波的干涉仪的测量误差
机译:波前干涉仪快速测量六面体垂直度误差的研究
机译:外差式干涉仪中的周期性误差:测量,不确定性和消除。
机译:自参考干涉仪波前传感器测量非对称光束的M2曲线
机译:ITER中锁定模式的物理学:误差场限制,消除旋转和场误差测量
机译:EUV光刻中使用的镜子的干涉式质量检查系统,其中检查了有限的表面积是否存在非旋转对称误差,以便可以定位旋转对称母体误差
机译:用于测量相对于激光束的角度微偏差,优选为机器的旋转误差的方法以及用于测量相对于激光束的角度微偏差,优选为机器的旋转误差的干涉仪
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