光波导制备的研究进展

摘要

介绍了几种光波导的制备方法，并回顾了近年来国内外光波导制备方法的研究进展。与传统光波导制备方法相比，MeV离子注入和飞秒激光刻写光波导具有明显的优势，可以直接制成所需形状的三维光波导，是近几年光波导制备方法中的研究热点。