溶胶-凝胶SiO2减反膜的表面修饰和抗污染特性

摘要

采用溶胶-凝胶法制备了用于高功率激光装置的SiO2减反射膜,并在室温条件下采用气相法对该薄膜进行表面修饰.结果表明:修饰后薄膜的疏水性能、激光损伤阈值均有明显提高,其在大气环境下的耐候性与普通薄膜相当,但对有机污染物的抗性明显提高;经六甲基二硅胺烷修饰、氨气氛及热处理后的薄膜表现出对有机烷类良好的抗污染性能.