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BMIMTfO离子液体电沉积铜和铟工艺的研究

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本文提出用一种可在空气和水中稳定的咪唑类离子液体—1-丁基-3-甲基咪唑三氟甲磺酸盐([BMIM][TfO])作为溶剂电沉积制备铜和铟金属.循环伏安法研究表明,[BMIM][TfO]离子液体中,Cu2+离子在玻碳电极上的放电过程分为两步,In3+离子的放电过程为一步.采用恒电势法在钼基体上电沉积制备了金属铜和铟薄膜,研究了沉积电势和温度对沉积层形貌的影响.

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来源
《中国电子学会电子制造与封装技术分会电镀专家委员会第十七届学术年会》|2015年|1-9|共9页
会议地点西安
作者
ZHANG Jie; 张杰; AN Mao-zhong; 安茂忠; JI Shan-shan; 姬姗姗; LIAN Ye; 连叶; YANG Pei-xia; 杨培霞; ZHANG Jin-qiu; 张锦秋;
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作者单位

中国电子学会电镀专家委员会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TF811:TF803.27;TF843.1:TF803.27;
关键词
铜金属; 铟金属; 电沉积; 1-丁基-3-甲基咪唑三氟甲磺酸盐;

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